Технологические процессы напыления тонких плёнок

Классификация применяемых технологических процессов

1.1 Получение резистивных высокоомных слоёв из порошка сплава РС-3710 методом взрывного испарения и методом ионно-плазменнного распыления мишени сплава РС-3710 в вакууме.

1.2 Получение резистивных низкоомных слоёв хрома марки ЭРХ методом термического испарения в вакууме.

1.3 Получение резистивных низкоомных слоёв методом ионно-плазменного распыления мишени сплава МНКВ в вакууме.

1.4 Получение резистивных низкоомных слоёв нихрома марки Х20Н80 методом термического испарения в вакууме.

1.5 Получение проводящих слоёв меди с адгезионнным подслоем хрома методом термического испарения в вакууме.

Материалы, используемые для напыления резистивных плёнок

Материалы, используемые для напыления резистивных плёнок, приведены в таблице 1.

Таблица 1– Материалы, используемые для напыления резистивных плёнок

Наименование материала

ГОСТ, ОСТ, ТУ

Документы, разрешающие применение материала

1 Сплав РС-3710 (порошок)

ГОСТ 22025

РД 107.460084.200

2 Сплав РС-3710 (мишень)

ЕТО 032.547 ТУ

ОСТ 4.054.074

3 Хром электролитический рафинированный марки ЭРХ

ТУ 14-5-76

ОСТ ИГО.0140.224

4 Сплав МНКВ (мишень)

АУЭ 0.021.000 ТУ

РД 107.460084.200

5 Нихром Х20Н80

ГОСТ 12766,1

ОСТ 107.750878.001

Материалы, используемые для напыления проводящего слоя приведены в таблице 2.

Таблица 2– Материалы, используемые для напыления проводящего слоя

Наименование материала

ГОСТ, ОСТ, ТУ

Документы, разрешающие применение материала

1 Хром электролитический рафинированный марки ЭРХ

ТУ 14-5-76

ОСТ ИГО.010.224

2 Медь вакуумплавленная МВ

бко.028.007 ТУ

ОСТ 107.750878.001

3 Никель

ГОСТ 2170

ОСТ 4.054.074

Прочтите также:

Электропривод с вентильной машиной
Электроприводом называется электромеханическое устройство, посредством которого приводятся в движение рабочие органы машин и обеспечивается управление энергией, преобразованной из элект ...

Усилитель мощности миллиметрового диапазона длин волн
Лампы бегущей волны продолжают оставаться одним из важнейших комплектующих элементов, определяющих технический уровень радиолокационно-связных систем. Этот тип ЭВП обладает превосходным ...

Фотоприемники на основе твердого раствора кадмий-ртуть-телур (КРТ)
В настоящее время тем, кто более-менее знаком с полупроводниковыми технологиями, сочетание букв КРТ – не пустой звук, а довольно обширная тема. Твердые растворы на основе КРТ доказали на ...

Основные разделы

Copyright © 2008 - 2019 www.techmatch.ru