Ионно-сублимационный насос с подачей титана

Рис. 3 Ионно-сублимационный насос. (1-катушка с титановой проволокой; 2-направляющая трубка; 3-тигель, являющийся анодом; К-катод; S-сетка; А-анод)

Принципиальная схема ионно-сублимационного насоса с подачей титана приведена на рис.3. Такой насос представляет собой своего рода цилиндрический триод, в котором анод А имеет потенциал около +1000 В, катод К в форме кольца - потенциал около +100 В, а заземленный наружный цилиндр (корпус) играет роль приемного электрода для ионов, т. е. является электродом, который откачивает газы. Вдоль оси системы электродов установлена направляющая 2 для подачи титановой проволоки, которая, разматываясь с ролика, поступает в тигель 3. Тигель (имеющий потенциал сетки) подогревается бомбардирующими его электронами до температуры, необходимой для испарения титана. Титан оседает на стенках корпуса насоса, имеющего водяную рубашку или охлаждаемого змеевиком. Скорость вращения ролика с проволокой регулируется снаружи. Ионизация газа в насосе происходит под действием электронов, эмиттируемых катодом. Ионизированные, возбужденные и диссоциированные при этом газы связываются химически и физически на поверхности и в глубине материала, а также «замуровываются» непрерывно оседающими парами титана.

Например, при испарении титана со скоростью 5 мг·с-1 скорости откачки различных газов будут следующими:

н2 = 3000 л•с-1, SN2= 2000 л•с-1, SO2= 1000 л•с-1, возд=600 л•с-1, SAr = 5л•с-1.

Диаметр корпуса такого насоса составляет ~40 см.

Прочтите также:

Модернизация системы видеонаблюдения центрального офиса коммерческого банка
Желание жить вне опасности следует в общепринятой иерархической системе потребностей, предложенной Маслоу, сразу после физиологических нужд. Это понятие не ограничивается личной без ...

Исследование алгоритмов скремблирования данных
Нaблюдaемое в последнее время прогрессирующее влияние информaционных технологий прaктически на все сферы жизнедеятельности человечества вызывает поступательный рост требований к т ...

Цифровой термометр на микропроцессоре AVR-MEGA 128
Микроконтроллеры (МК) являються серцем многих современных устройств и приборов. Самой главной особенностью МК, с точки зрения конструктора-проектировщика, является то, что с их помощ ...

Основные разделы

Copyright © 2008 - 2019 www.techmatch.ru