Ионно-сублимационные триодные насосы

На рис. 4 представлен небольшой стеклянный насос, состоящий из горячего катода, сетчатого анода и коллектора, образованного слоем титана на стенках баллона. Электроны из катода, проскакивая через отверстия сетчатого анода, ионизируют газ. Образовавшиеся положительные ионы под действием электрического поля движутся к коллектору, имеющему отрицательный потенциал, и внедряются в его поверхность. При достаточно интенсивной бомбардировке анода электронами, эмиттируемыми из катода, температура анода повышается, титан с его поверхности сублимируется и, оседая на стенках (на коллекторе), «замуровывает» внедряющиеся в нее газы. Стенки баллона охлаждаются водой.

Рис. 4 Ионно-сублимационный насос. (а-схема; б-зависимость скорости откачки от давления для некоторых газов). С-коллектор; А-анод, покрытый титаном; К-катод.

Прочтите также:

Ионные насосы в технологии MEMS
Все вакуумные насосы можно разделить на высоковакуумные и низковакуумные, а по физическому принципу действия - на механические, сорбционные, ионные. Среди механических насосов выделя ...

Разработка усилителя мощности
Усилителем мощности (УМ) называют усилитель, который обеспечивает заданную мощность в нагрузке, сопротивление которой, как правило, мало. Обычно в таких усилителях амплитуды выходного то ...

Разработка имитатора сигналов для электрокардиографов
Биоэлектрические процессы в организме являются источником диагностической информации о состоянии и деятельности тканей и органов. Регистрация потенциалов, возникающих ...

Основные разделы

Copyright © 2008 - 2019 www.techmatch.ru