Плёночные индуктивные элементы

Плёночные индуктивные элементы широко распространены в аналоговых ИМС. Конструкция индуктивных элементов представляет собой спирали (рис. 5).

Для повышения добротности спирали проводники должны быть большой толщины (30 ÷ 100) mm. С этой целью проводят электрохимическое осаждение меди или золота на тонкий подслой титана или ванадия.

Индуктивность круглой плёночной спирали при Дн ³ 3,5 Двн определяется по формуле:

; nH

где Дср = 0,5(Дн + Двн) - средний диаметр витка;

Дн - наружный диаметр;

Двн - внутренний диаметр;

h = nt + в - ширина спирали (cm);

t - шаг спирали (cm);

в - ширина проводника (cm);

n - число витков.

Если

в = (30 ÷ 50)mm

t = (50 ÷ 100)mm, то

для квадратной спирали на площади 25 mm2 можно получить индуктивность порядка:

= (250 ÷ 500) nH.

В современных ГИС площадь, занимаемая одной спиралью, обычно не превышает 1 cm2. Максимальное число витков, которое можно разместить на этой площади определяется разрешающей способностью технологического процесса создания спирали, в частности вmin. При вmin » 50mm индуктивность составляет 10mH [3].

Добротность спирали достигает значений: Q = 80 ÷ 120 при оптимальном соотношении внутреннего и наружного диаметров Двн/ Дн » 0,4. С увеличением частоты добротность катушек возрастает, поэтому плёночные катушки успешно работают в СВЧ-диапазоне при частотах 3 ÷ 5 GHz, при этом число витков составляет 3 ÷ 5.

Толщина спирали зависит от рабочей частоты и определяется глубиной проникновения (d) электромагнитной волны в материал плёночного проводника (скин-эффект)

;

где K - коэффициент, зависящий от материала проводника;

f - рабочая частота.

Прочтите также:

Технология размещения базовых станций связи стандарта DCS-1800
Среди современных систем мобильной радиосвязи наиболее стремительно развиваются системы сотовой радиотелефонной связи. Их внедрение позволило решить проблему экономического использования ...

Усилитель звуковых частот
Усилитель звуковых частот (УЗЧ), усилитель низких частот (УНЧ) или усилитель мощности звуковой частоты (УМЗЧ) — прибор для усиления электрических колебаний, соответствующих слышимому чело ...

Технологические процессы микросборки плат
В 1946 году заводу № 197 поручается модернизация РЛС П-3, для чего создаётся специальная лаборатория под руководством Е. В. Бухвалова. Официальной датой основания предприятия считается ...

Основные разделы

Copyright © 2008 - 2020 www.techmatch.ru