Подложки ГИС

Подложки ГИС являются диэлектрическим и механическим основанием для плёночных и навесных элементов и служат также теплоотводом.

Материал подложки должен обладать следующими свойствами и характеристиками:

) высоким сопротивлением изоляции;

) электрической прочностью;

) низкой диэлектрической проницаемостью, малым тангенсом угла потерь;

) высокой теплопроводностью;

) механической прочностью, обеспечивающей целостность подложки как в процессе изготовления, так и в процессе эксплуатации ГИС;

) высокой химической инертностью к материалам наносимых плёнок;

) стойкостью к воздействию нагрева в процессе нанесения плёнок;

) способностью к механической обработке (полировке, резке)

) температурный коэффициент линейного расширения должен быть близок к температурным коэффициентам линейного расширения наносимых плёнок во избежание отслаивания и растрескивания плёночных элементов.

В настоящее время в качестве подложки используют ситаллы для маломощных ГИС; для мощных ГИС применяют керамику "поликор", а для особо мощных ГИС - бериллиевую керамику, имеющую очень высокую теплопроводность. В тех случаях, когда необходима высокая механическая прочность и жёсткость конструкции, применяют металлические подложки: алюминиевые, покрытые слоем анодного оксида или эмалированные стальные.

Габаритные размеры подложек стандартизированы (таблица 3). Толщина подложек составляет (0,35 - 0,6)mm.

Таблица 3.

Типоразмеры плат ГИС

№ типоразмера

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

ширина, mm

96

60

48

30

24

20

16

12

10

10

5

2,5

Длина, mm

120

96

60

48

30

24

20

16

16

12

6

4

Способы нанесения тонких плёнок

В настоящее время используются следующие способы нанесения тонких плёнок на подложку:

· термическое испарение;

Перейти на страницу: 1 2

Прочтите также:

Модернизация блока управления аппарата искусственной вентиляции легких Спирон–201
Аппарат искусственной вентиляции легких «Спирон-201» предназначен для проведения искусственной вентиляции легких у взрослых при реанимации и интенсивной терапии и эксплуатируется в услов ...

Использование зарубежных магнитных компасов на морском флоте (МК компании С.Plath, Sperry Marine и Tokyo Keiki)
Изобретение морского компаса дало мореплавателям надежное средство для ориентировки в море в любой момент дня и ночи и независимо от погоды и было необходимым шагом к эпохе великих геог ...

Усилители следящих систем
В курсовом проекте разрабатывается полупроводниковый усилитель для управления приводным двигателем следящей системы. Расчет усилителя начинается с оконечного каскада. Оконечный каск ...

Основные разделы

Copyright © 2008 - 2019 www.techmatch.ru