Подложки ГИС

Подложки ГИС являются диэлектрическим и механическим основанием для плёночных и навесных элементов и служат также теплоотводом.

Материал подложки должен обладать следующими свойствами и характеристиками:

) высоким сопротивлением изоляции;

) электрической прочностью;

) низкой диэлектрической проницаемостью, малым тангенсом угла потерь;

) высокой теплопроводностью;

) механической прочностью, обеспечивающей целостность подложки как в процессе изготовления, так и в процессе эксплуатации ГИС;

) высокой химической инертностью к материалам наносимых плёнок;

) стойкостью к воздействию нагрева в процессе нанесения плёнок;

) способностью к механической обработке (полировке, резке)

) температурный коэффициент линейного расширения должен быть близок к температурным коэффициентам линейного расширения наносимых плёнок во избежание отслаивания и растрескивания плёночных элементов.

В настоящее время в качестве подложки используют ситаллы для маломощных ГИС; для мощных ГИС применяют керамику "поликор", а для особо мощных ГИС - бериллиевую керамику, имеющую очень высокую теплопроводность. В тех случаях, когда необходима высокая механическая прочность и жёсткость конструкции, применяют металлические подложки: алюминиевые, покрытые слоем анодного оксида или эмалированные стальные.

Габаритные размеры подложек стандартизированы (таблица 3). Толщина подложек составляет (0,35 - 0,6)mm.

Таблица 3.

Типоразмеры плат ГИС

№ типоразмера

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

ширина, mm

96

60

48

30

24

20

16

12

10

10

5

2,5

Длина, mm

120

96

60

48

30

24

20

16

16

12

6

4

Способы нанесения тонких плёнок

В настоящее время используются следующие способы нанесения тонких плёнок на подложку:

· термическое испарение;

Перейти на страницу: 1 2

Прочтите также:

Цифровой измеритель разности двух напряжений
По сути необходимо разработать устройство, преобразующее аналоговый сигнал в, эквивалентный ему, цифровой код. Т.е. замены сигнала серией импульсов за некоторое определенное время. Та ...

Трансформатор питания
Трансформаторы являются наиболее широко используемыми элементами в различной аппаратуре. Трансформаторы питания преобразуют переменное напряжение первичного источника в любые другие з ...

Цифровой измеритель времени
В настоящее время благодаря широкому распространению дешёвых микрокомпьютеров их влияние на повседневную жизнь усиливается с каждым годом. В домах появляются различные устройства и прис ...

Основные разделы

Copyright © 2008 - 2018 www.techmatch.ru