Упрощённая схема катодного напыления представлена на рис. 7.
В отличие от термического метода здесь отсутствует испаритель, его функцию выполняет катод 5, который либо состоит из напыляемого материала, либо электрически контактирует с ним. Роль анода играет подложка с держателем 3 и 4.
Пространство под колпаком сначала откачивают до 10-5÷10-6 мм рт. ст. Затем через штуцер 6 вводят некоторое количество очищенного нейтрального газа (чаще всего аргона) так, что создаётся давление порядка 10-1÷10-2 мм рт. ст.
При подаче высокого напряжения на катод (анод в целях электробезопасности заземляется), порядка (2-3)kV, в пространстве "анод-катод" возникает аномальный тлеющий разряд, который сопровождается образованием квазинейтральной электронно-ионной плазмы.
Для получения оптимальных условий распыления подбирают соответствующее соотношение между тремя величинами: расстоянием между катодом и анодом, приложенным напряжением и давлением газа.
Важнейшим преимуществом катодного распыления, по сравнению с термическим, является то, что распыление не связано с высокой температурой и следовательно отпадают трудности с напылением тугоплавких материалов и химических соединений. К тому же при катодном напылении можно получить плёнки с улучшенными адгезионными свойствами, с постоянным химическим составом, а также с более равномерной толщиной.
Основными недостатками катодного напыления являются: сложность контроля и управления процессом напыления, низкая скорость роста плёнок, некоторая загрязнённость плёнок молекулами газов.
Кроме катодного распыления к ионно-плазменному напылению относится метод, где используются специальные мишени, которые бомбардируются ионами плазмы газового разряда [2].
Усилитель мощности миллиметрового диапазона длин волн
Лампы бегущей
волны продолжают оставаться одним из важнейших комплектующих элементов,
определяющих технический уровень радиолокационно-связных систем. Этот тип ЭВП
обладает превосходным ...
Многокаскадный усилитель переменного тока с обратной связью
Электронные приборы – устройства принцип действия которых
основан на использовании явлений связанных с движущимися потоками заряженных
частиц. В зависимости от того как происходит управл ...
Определение оптимальных в соответствии с заданными критериями характеристик корректирующего кода и разработка кодирующего устройства выбранного кода
Территориальная распределенность объектов специального назначения,
телекоммуникационных сетей общего пользования требует решения задач по их
охране [4]. Однако использование для этих цел ...
Copyright © 2008 - 2021 www.techmatch.ru